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再生稀土抛光粉


    本文将稀土氧化物配制成固含量为10%的稀土抛光液,用于触摸屏玻璃的平面抛光,讨论再生稀土抛光粉的抛光性能和化学机械抛光的机理,主要包括以下三部分内容:
    首先讨论影响再生稀土抛光粉抛光性能的因素。饰基稀土抛光粉中氧化饰的含量、粉体的粒度和硬度是影响再回收稀土抛光粉抛光效果的最主要因素。一般情况下,氧化饰含量越高,抛光能力越大,但实际上饰基稀土抛光粉的粒度分布、锻烧条件对抛光效果的影响也很大,抛光粉的粒度可决定抛光后工件的精度和抛光速度,常用粉体的平均粒度来表征,用于抛光玻璃的稀土抛光粉平均粒径在1μm~4μm之间。烧成温度越高,晶粒结晶越好,抛光能力会有所增加。但是当锻烧温度过高时,抛蚀量反而下降,是由于高温会造成颗粒表面钝化和颗粒过硬,容易造成玻璃表面划伤;低温锻烧可制备较软的抛光粉,不易对工件造成划伤,适用于软玻璃和光掩模基板等的加工。
    由于饰基稀土抛光粉的粒度较小,测定其硬度比较困难。有些学者采用显微硬度计测量抛光粉颗粒的硬度,但由于材料软硬等因素,使测量的误差较大。饰基稀土抛光粉的硬度具体指:(1)氧化饰粉体能够与玻璃表面产生研磨效果的莫氏硬度。如果颗粒过硬,抛光过程中抛光粉颗粒不易破碎,容易在玻璃表面留下划痕。如果颗粒硬度不够,抛光过程中抛光粉颗粒易于破碎随着抛光液流失,从而降低了抛光效率;(2)从抛光机理的化学学说出发,是指氧化饰晶格缺陷和活性表面最合适时的粉体硬度,可在玻璃表面发生最大的化学作用。过软的颗粒产生的活性表面比实际抛光中起作用的多,颗粒较易破碎会造成浪费,过硬的颗粒产生活性表面的速度较慢,会降低其抛光能力,且容易划伤玻璃表面。
    其次,本章对比再生稀土抛光粉和市售不同型号稀土抛光粉的氧化饰含量、抛光性能、粒度大小以及物相分析的结果。
    最后,分析再生稀土抛光粉在使用前后的晶粒形貌和粒径大小的变化,初步探讨化学机械抛光的机理。

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